百家乐在线官网,官网,官方网站,官方网址

    所网站  |  中国科学院  
 中心首页  中心概况 仪器平台 检测预约 人员队伍 联系我们
公共技术服务中心举办Heidelberg激光直写系统培训
来源:公共技术服务中心发布时间:2016-03-07

  2016年3月4日下午,公共技术服务中心举办了Heidelberg激光直写系统使用培训,详细介绍了Heidelberg Instruments公司DWL 66+系统的硬件构成、核心原理及操作说明,参与培训人数达29人。

设备功能简介:

  高分辨率激光直写,无需掩模版,制备图形的最小特征尺寸可达600nm,激光波长405nm,加工样品最大尺寸可达6英寸。

应用领域:
  光刻掩模版、半导体器件、MEMS、BioMEMS传感器、集成光学等。  

 

  版权所有:中国科学院北京纳米能源与系统研究所 Copyright ? 2017
地址:北京市海淀区学院路30号天工大厦C座 邮编: 100083 电话: 010-82854888

Sitemap

HABA电子平台| CQ电子| 真人娱乐在线|